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一、超纯水概况
超纯水(Ultrapure water)又称UP水，是指电阻率达到18 MΩ*cm(25℃)的水。超纯水是一种经过特殊工艺处理的水,几乎不含任何杂质,具有很高的纯度。超纯水可以用于超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。下面介绍超纯水处理系统工艺与流程。
二、超纯水处理系统工艺介绍
1: 预处理-反渗透-纯化水箱-离子交换器-紫外灯-纯水泵-用水点
2: 预处理-一级反渗透-二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点
3: 预处理-反渗透-中间水箱-中间水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点
4: 预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOC UV装置→抛光混床→超滤装置→用水点
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